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供台積電需求!傳日本信越將首度在臺產EUV光阻劑

【記者賴意晴/編譯】由於晶圓代工龍頭台積電先進製程不斷往前推進,為滿足其需求,日媒指出,日本信越化學(Shin-Etsu Chemical)將斥資300億日圓(約新臺幣81.89億元),把半導體廠重要材料「光阻劑」的產能提高20%,而且將首度在臺灣生產,以擴大供應高階晶片的關鍵材料。

《日經亞洲評論》週四(10月15日)報導,信越化學將在日本與臺灣興建新的工廠,投資生產光阻劑的新設備。這種材料用於在矽晶圓上形成電路圖案。

報導指出,信越化學位於臺灣雲林工廠預計將於2021年2月開始量產,到時候信越得以在臺灣生產可與極紫外線(EUV)光刻技術兼容的光阻液,此前這種材料只在日本生產。信越化學希望,如此便可以滿足台積電等蘋果供應鏈的需求。

臺灣規畫產能將增加50%;日本方面,信越新潟縣的直江廠預計2022年2月開始量產,增加產能20%,同時也會增聘新員工。

報導指出,信越化學也將為韓國、中國與其他市場的客戶提高產量。

其他日本光阻劑大廠,包括JSR與東京應化工業公司,也同時在日本與海外生產EUV光阻劑,而住友化學和富士軟片(Fujifilm)也準備進入這一領域。

光阻劑是半導體供應鏈關鍵材料,日本業者合計市占高達約80%,光是信越化學的市占就達20%至30%。根據研調機構富士經濟(Fuji Keizai)預測,光阻劑市場在2019年至2024年將成長60%至2,500億日圓。